WAlN-SA001 AlGaN外延片
| 产品型号 | WAlN-SA001 |
| 产品类别 | AlGaN外延片 |
| 厚度 | [0.1,1) μm |
| (002) | ≤ 100 arcsec |
| (102) | ≤ 800 arcsec |
产品描述
基于MOCVD工艺的高质量AlN/Sapphire模板
基本参数
| 参数名称 | 参数值 |
|---|---|
| Diameter | 2 inch |
| Substrate | Sapphire |
| Substrate Thickness | 430±20 μm |
| Epilayer Thickness | [0.1,1) μm |
| FWHM of 002 XRC | ≤ 100 arcsec |
| FWHM of 102 XRC | ≤ 800 arcsec |
| Front side roughness | ≤ 1.5 nm (10×10 μm) |
| Edge exclusion | ≤ 3 mm |
| Through Crack | None |
| Surface orientation of a-plane | 0°±0.1° |
| Surface orientation of m-plane | 0.2°±0.1° |
| Primary flat orientation | a-plane±0.1° |
| Primary flat length | 16±1 mm |
| Back side roughness | 0.8±0.2 μm |
常见问题
肉眼看到的颜色是UV-C LED发射光谱中的可见光部分，其来自于半导体材料中氧替位、晶格失配位错等各类深能级与导带能级之间电子跃迁。因为缺陷能级位置相对于量子阱价带更高，所以电子跃迁发射出的光子波长更长，通常在450nm左右，为可见光。受限于半导体设备精度，晶圆上不同区域的芯片和不同批次的芯片，其材料缺陷浓度、缺陷类别都略有差异。该差异导致发射可见光的深能级位置有差异，进而发射不同波长的可见光，呈现出不同颜色。虽然波长差异很小，但肉眼感知明显。
UVC-LED不会产生臭氧，因为氧氧共价键键能高达5.1eV，对应需要波长至少短于243nm的紫外线才能够打断，最终生成臭氧。
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